第452章：光刻机
想要进入研究院的车间。
那复杂程度不亚于西天取经。
防护服得穿上。
然后风吹，将身上的尘埃都吹掉。
在经过紫外线照射等等环节。
从准备到进入，差不多要花上一个多小时。
没办法，光刻机对于室内清洁度要求实在是太高了。
光刻机说白了就是通过一系列的光源能量、形态约束，将光束投射到画有电路图的掩膜。
再经过光学补偿，将电路图成比例缩小投射到硅晶片，最后通过化学方法显影，得到刻在硅晶片上的电路图。
如此，光刻机在工作中最重要的当然是光了。
光在哪里传播呢？自然是空气。
这也就是为什么光刻机的工作环境要求非常高的洁净度。
哪怕是一点灰尘，都能将生产出来的芯片直接报废。
现在91年，光刻机的精密度还没有那么高。
这台从阿斯麦过来的机器，还远远没有达到后世的7纳米，甚至5纳米。
所以，对车间的要求在当下看起来是非常高，但自己人还是能搞一搞。
等到后世就坏菜了。
光刻机的精密度提高，对环境的要求更加苛刻和变态。
在国际上通用标准来说，手术室的要求的环境是ISO5级。
这也是常人能接触到最干净的环境了。
但是，芯片生产因为特别精细。
极其微小的杂质都会影响产品的质量。
所以，在后世，生产芯片的车间竟然要求ISO1级或者ISO2级的最高水平！
也就是每立方米的空气中，超过大小的杂质，不能超过100粒。
这是什么概念？
打个比方说：如果西湖里面装满纯净水，你往里面撒一把盐，它就不合格了！
很是恐怖的要求！
简直让人无法想象，这么高要求，你靠人工打扫肯定是不行的。
人类每分钟会掉900多块死皮。
450个以上的细菌。
滴一滴汗，就会报废一批芯片！
注意是一批！而不是一个！
所以，芯片厂的自动化要求特别高，人反而是累赘。
能用机器的地方就不用人。
厂房里面还需要不间断的吹风。
一边吹一边过滤，确保完全无尘。
而这种吹风过滤的机器，叫风机过滤机组。
这种机组，只有老美和岛国才能生产出来。
这也是武长风让霍家齐去往岛国购买的空气净化设备的缘由。
就连过滤用的滤纸，在后世都没有国产能够替代。
在芯片生产这个流程里面，类似这样的细节还有很多。
这不仅仅是环境的要求，还有更多的注意事项，简直就是让人头皮发麻。
进入车间后。
霍家齐陪在武长风身边，一边介绍，一边说道：“为了启动这玩意，咱们花了不少时间，但时间反而是不值钱的。”
“花钱最多的就是购买各种原材料。”
武长风点点头：“不要急，慢慢来，你要知道，现在能买到，这都是高光时刻了。”
霍家齐有点懵逼，啥意思？
以后还买不到了？
这让霍家齐无法理解。
但他也没多想，只要有老板武长风在，一切问题都能解决。
老板就是这么一个创造奇迹的人。
随后，霍家齐展现了自己专业，扎实的基本功。
指着光刻机部件一一介绍道：
“老板，我们这是半自动设备，对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐。”
“这是紫外光源，曝光系统最核心的部件之一。”
“这个是对准系统，采用的全气动轴承设计专利技术，有效避免轴承机械摩擦所带来的工艺误差。”
“这里是工件台，顾名思义就是放工件的平台，光刻工艺最主要的工件就是掩模和基片。”
“工件台为光刻机的一个关键，由掩模样片整体运动台（XY）、掩模样片相对运动台（XY）、转动台、样片调平机构、样片调焦机构、承片台、掩模夹、抽拉掩模台组成。
“其中，样片调平机构包括球座和半球。调平过程中首先对球座和半球通上压力空气，再通过调焦手轮，使球座、半球、样片向上运动，使样片与掩模相靠而找平样片，然后对二位三通电磁阀将球座和半球切换为真空进行锁紧而保持调平状态。”
“样片调焦机构由调焦手轮、杠杆机构和上升直线导轨等组成，调平上升过程初步调焦，调平完成锁紧球气浮后，样片和掩模之间会产生一定的间隙，因此必须进行微调焦。”
“另一方面，调平完成进行对准，必须分离一定的对准间隙，也需要进行微调焦。”
“抽拉掩模台主要用于快速上下片，由燕尾导轨、定位挡块和锁紧手轮组成。”
霍家齐整整介绍了一个多小时。
武长风听的直迷糊。
其实，他懂的也不多，甚至不如霍家齐专业。
但自己对于光刻机的过往趣事，要比霍家齐知道的多的多。
武长风问道：“试生产了吗？”
霍家齐点点头：“试过了，但效果不是很好，合格率只有五成，也不知道是我们操作失误，还是机器有问题。”
“还是接触时间太短，找不到具体的原因。不过，我相信，随着我们继续研究，一定会找到具体原因的。”
武长风宽慰的说道：“要知道，你们现在已经走在大陆前列，和世界并轨。”
“我的要求不多，你们要钱给钱，要人给人。”
“我只有一个期望，跟上世界的脚步，别被甩开了。”
霍家齐沉默一会：“老板，这光刻机高端的地方实在是太多了，比如晶圆，说白了就是脱氧后的沙子，但去氧这个步骤就很难搞。”
“还是光刻胶，怕是投入几百人也不一定研究出来。”
“类似种种，有很多东西。”
“而生产芯片，大致分为设备、材料、设计等上游环节、中游晶圆制造，以及下游封装测试等三个主要环节。”
“所以，我想问一下老板，咱们是全部跟进，还是……”
武长风听后，低头沉思了很久。
全部跟进是不可能的，只能选择其中一个到二个项目进行研发。
让启明星挤进这个产业链中去，成为不可或缺的一部分。
其实生产芯片过程分为：原料晶圆→晶圆涂膜→晶圆光刻显影→蚀刻→搀加杂质→晶圆测试→封装→测试、包装。
看似简单，但需要的东西实在是太多。
这个根本就不是一个地区或是国家能全部完成的。
这里面的本质原因，除了在光刻机发展阶段，没有得到足够重视外，也不是大陆技术不行。
而是现代芯片加工生产，本来就是人类最复杂，最精密的科技结晶。
是全球化的时期，全世界通力协作的成果。
不是某一个小国家就能搞定的。
在后世的芯片，是由老美出设计，岛国出原材料，棒子国和对岸出手艺，德国和荷兰出设备。
你让里面任何一个国家，包括老美完全靠自己国内去生产，他也一样造不出来芯片。
而大陆在后世，在部分工艺上面，已经摸到了第一梯队，比如刻蚀机，它和光刻机一样重要。
但老美完全不在这个上面封锁大陆，因为大陆的刻蚀机，已经达到5NM的级别，封锁了也是白搭。
而在设计，封装和测试等等环节，后世的大陆早已经有一批全球的顶尖高手。
只是这个生产链条实在是太长了。
不说工厂规模，要补的课太多了。
说个数据：西门子，成立于1847年，爱立信成立于1890年，卡尔蔡司成立于1890年，飞利浦1891年。
也就是说，他们从上一个朝代就开始营业了。
而启明星成立于1990年。
再说说老美，20年内，投入了9000亿美元。
而后世的大陆，一期加二期加起来才500美元。
能追到后世的地步，已经很不错了。
而芯片制造，以其工艺之艰难卓绝，也是众多科技领域内，最险峻的一座大山。
武长风咬咬牙，并没有立刻回答霍家齐的问题。
而是欣赏起光刻机生产过程。
多名大学生小心翼翼的操作。
虽然生疏，但信心十足，并没有合格率低下而气馁。
参观一会。
武长风嘱咐几句后，直接离开车间。
脱了防尘服，武长风大松一口气。
来到霍家齐办公室。
武长风坐在沙发上喝茶水。
武长风望着窗外，两人都没有说话。
霍家齐在等待指令，是全面跟进光刻机所有工艺流程，还是单独切入一个领域。
当然霍家齐还是希望全面跟进的。
在这个时代人的眼中，自己有的，才是自己的。
任何一个环节被外人掌控，那都是非常难受的事情。
但霍家齐也知道，如果全部跟进，那么这个研究院可能扩大几倍不止。
单单是去了一趟岛国的他就知道，那个空气过滤机组的公司，很不小了。
这仅仅是其中一个环节啊！
武长风心中早有决断。
全面跟进是不可能的。
自己玩不起。
要知道，一个小小的芯片，能带动上下游上万亿美元的产值。
这不是自己能吃得下的东西。
尽管自己跟上了光刻机发展阶段也不行。
这个产业链实在是太长。
超乎想象，复杂无比。
于是，武长风的心里，有了两个想法。
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防护服得穿上。
然后风吹，将身上的尘埃都吹掉。
在经过紫外线照射等等环节。
从准备到进入，差不多要花上一个多小时。
没办法，光刻机对于室内清洁度要求实在是太高了。
光刻机说白了就是通过一系列的光源能量、形态约束，将光束投射到画有电路图的掩膜。
再经过光学补偿，将电路图成比例缩小投射到硅晶片，最后通过化学方法显影，得到刻在硅晶片上的电路图。
如此，光刻机在工作中最重要的当然是光了。
光在哪里传播呢？自然是空气。
这也就是为什么光刻机的工作环境要求非常高的洁净度。
哪怕是一点灰尘，都能将生产出来的芯片直接报废。
现在91年，光刻机的精密度还没有那么高。
这台从阿斯麦过来的机器，还远远没有达到后世的7纳米，甚至5纳米。
所以，对车间的要求在当下看起来是非常高，但自己人还是能搞一搞。
等到后世就坏菜了。
光刻机的精密度提高，对环境的要求更加苛刻和变态。
在国际上通用标准来说，手术室的要求的环境是ISO5级。
这也是常人能接触到最干净的环境了。
但是，芯片生产因为特别精细。
极其微小的杂质都会影响产品的质量。
所以，在后世，生产芯片的车间竟然要求ISO1级或者ISO2级的最高水平！
也就是每立方米的空气中，超过大小的杂质，不能超过100粒。
这是什么概念？
打个比方说：如果西湖里面装满纯净水，你往里面撒一把盐，它就不合格了！
很是恐怖的要求！
简直让人无法想象，这么高要求，你靠人工打扫肯定是不行的。
人类每分钟会掉900多块死皮。
450个以上的细菌。
滴一滴汗，就会报废一批芯片！
注意是一批！而不是一个！
所以，芯片厂的自动化要求特别高，人反而是累赘。
能用机器的地方就不用人。
厂房里面还需要不间断的吹风。
一边吹一边过滤，确保完全无尘。
而这种吹风过滤的机器，叫风机过滤机组。
这种机组，只有老美和岛国才能生产出来。
这也是武长风让霍家齐去往岛国购买的空气净化设备的缘由。
就连过滤用的滤纸，在后世都没有国产能够替代。
在芯片生产这个流程里面，类似这样的细节还有很多。
这不仅仅是环境的要求，还有更多的注意事项，简直就是让人头皮发麻。
进入车间后。
霍家齐陪在武长风身边，一边介绍，一边说道：“为了启动这玩意，咱们花了不少时间，但时间反而是不值钱的。”
“花钱最多的就是购买各种原材料。”
武长风点点头：“不要急，慢慢来，你要知道，现在能买到，这都是高光时刻了。”
霍家齐有点懵逼，啥意思？
以后还买不到了？
这让霍家齐无法理解。
但他也没多想，只要有老板武长风在，一切问题都能解决。
老板就是这么一个创造奇迹的人。
随后，霍家齐展现了自己专业，扎实的基本功。
指着光刻机部件一一介绍道：
“老板，我们这是半自动设备，对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐。”
“这是紫外光源，曝光系统最核心的部件之一。”
“这个是对准系统，采用的全气动轴承设计专利技术，有效避免轴承机械摩擦所带来的工艺误差。”
“这里是工件台，顾名思义就是放工件的平台，光刻工艺最主要的工件就是掩模和基片。”
“工件台为光刻机的一个关键，由掩模样片整体运动台（XY）、掩模样片相对运动台（XY）、转动台、样片调平机构、样片调焦机构、承片台、掩模夹、抽拉掩模台组成。
“其中，样片调平机构包括球座和半球。调平过程中首先对球座和半球通上压力空气，再通过调焦手轮，使球座、半球、样片向上运动，使样片与掩模相靠而找平样片，然后对二位三通电磁阀将球座和半球切换为真空进行锁紧而保持调平状态。”
“样片调焦机构由调焦手轮、杠杆机构和上升直线导轨等组成，调平上升过程初步调焦，调平完成锁紧球气浮后，样片和掩模之间会产生一定的间隙，因此必须进行微调焦。”
“另一方面，调平完成进行对准，必须分离一定的对准间隙，也需要进行微调焦。”
“抽拉掩模台主要用于快速上下片，由燕尾导轨、定位挡块和锁紧手轮组成。”
霍家齐整整介绍了一个多小时。
武长风听的直迷糊。
其实，他懂的也不多，甚至不如霍家齐专业。
但自己对于光刻机的过往趣事，要比霍家齐知道的多的多。
武长风问道：“试生产了吗？”
霍家齐点点头：“试过了，但效果不是很好，合格率只有五成，也不知道是我们操作失误，还是机器有问题。”
“还是接触时间太短，找不到具体的原因。不过，我相信，随着我们继续研究，一定会找到具体原因的。”
武长风宽慰的说道：“要知道，你们现在已经走在大陆前列，和世界并轨。”
“我的要求不多，你们要钱给钱，要人给人。”
“我只有一个期望，跟上世界的脚步，别被甩开了。”
霍家齐沉默一会：“老板，这光刻机高端的地方实在是太多了，比如晶圆，说白了就是脱氧后的沙子，但去氧这个步骤就很难搞。”
“还是光刻胶，怕是投入几百人也不一定研究出来。”
“类似种种，有很多东西。”
“而生产芯片，大致分为设备、材料、设计等上游环节、中游晶圆制造，以及下游封装测试等三个主要环节。”
“所以，我想问一下老板，咱们是全部跟进，还是……”
武长风听后，低头沉思了很久。
全部跟进是不可能的，只能选择其中一个到二个项目进行研发。
让启明星挤进这个产业链中去，成为不可或缺的一部分。
其实生产芯片过程分为：原料晶圆→晶圆涂膜→晶圆光刻显影→蚀刻→搀加杂质→晶圆测试→封装→测试、包装。
看似简单，但需要的东西实在是太多。
这个根本就不是一个地区或是国家能全部完成的。
这里面的本质原因，除了在光刻机发展阶段，没有得到足够重视外，也不是大陆技术不行。
而是现代芯片加工生产，本来就是人类最复杂，最精密的科技结晶。
是全球化的时期，全世界通力协作的成果。
不是某一个小国家就能搞定的。
在后世的芯片，是由老美出设计，岛国出原材料，棒子国和对岸出手艺，德国和荷兰出设备。
你让里面任何一个国家，包括老美完全靠自己国内去生产，他也一样造不出来芯片。
而大陆在后世，在部分工艺上面，已经摸到了第一梯队，比如刻蚀机，它和光刻机一样重要。
但老美完全不在这个上面封锁大陆，因为大陆的刻蚀机，已经达到5NM的级别，封锁了也是白搭。
而在设计，封装和测试等等环节，后世的大陆早已经有一批全球的顶尖高手。
只是这个生产链条实在是太长了。
不说工厂规模，要补的课太多了。
说个数据：西门子，成立于1847年，爱立信成立于1890年，卡尔蔡司成立于1890年，飞利浦1891年。
也就是说，他们从上一个朝代就开始营业了。
而启明星成立于1990年。
再说说老美，20年内，投入了9000亿美元。
而后世的大陆，一期加二期加起来才500美元。
能追到后世的地步，已经很不错了。
而芯片制造，以其工艺之艰难卓绝，也是众多科技领域内，最险峻的一座大山。
武长风咬咬牙，并没有立刻回答霍家齐的问题。
而是欣赏起光刻机生产过程。
多名大学生小心翼翼的操作。
虽然生疏，但信心十足，并没有合格率低下而气馁。
参观一会。
武长风嘱咐几句后，直接离开车间。
脱了防尘服，武长风大松一口气。
来到霍家齐办公室。
武长风坐在沙发上喝茶水。
武长风望着窗外，两人都没有说话。
霍家齐在等待指令，是全面跟进光刻机所有工艺流程，还是单独切入一个领域。
当然霍家齐还是希望全面跟进的。
在这个时代人的眼中，自己有的，才是自己的。
任何一个环节被外人掌控，那都是非常难受的事情。
但霍家齐也知道，如果全部跟进，那么这个研究院可能扩大几倍不止。
单单是去了一趟岛国的他就知道，那个空气过滤机组的公司，很不小了。
这仅仅是其中一个环节啊！
武长风心中早有决断。
全面跟进是不可能的。
自己玩不起。
要知道，一个小小的芯片，能带动上下游上万亿美元的产值。
这不是自己能吃得下的东西。
尽管自己跟上了光刻机发展阶段也不行。
这个产业链实在是太长。
超乎想象，复杂无比。
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