第一六四章 KrF 248nm紫外光刻机
“岸然，这事我必须当面和你说清楚，这七套设备虽然都是1.5微米制造工艺，不过其中有四台，和其他的有些区别。”
王岸然一下来了兴致。
“有什么不一样？”
“有三台使用的是高压汞灯i线365纳米光源，而另外四台……”
“张教授，你倒是说啊！”
张大京嘴角带着笑，指着王岸然说道：“岸然，我一直以为你比别的年轻人沉得住气，现在看来，只是没找到你感兴趣的东西啊！”
王岸然白了张大京一眼，说道：“张教授，你再不说，我可要翻脸了啊！”
“好！好！”张大京摇摇头，说道：“岸然，有四台使用的是Krf248纳米准分子激光光源。”
额，王岸然感觉呼吸都有些急促，krf准分子激光光源有两种波长，一种是248纳米，另外一种就是193纳米。
这跟高压汞灯光源不一样的是，高压汞灯光源还属于可见光，而krf准分子激光已经迈入紫外线的范畴。
虽然国内早已经开始了krf准分子激光的研究，而且取得了相应的成果，不过适用于光刻的248纳米光源，要求的是百焦级别的高功率，以及粒子均匀性要在千分之零点三的范围内。
门槛就在这里。
事实上，IBM早在1980年就将krf准分子激光光源用于半导体光刻，而十五年过后，对国内来说，还是一道深不可测的技术门槛。
没想到，这玩意竟然被张大京搞来了……
王黯然忙问道：“张教授，我记得激光光源是瓦森纳协议中禁止贸易的，你怎么……？”
“岸然，你错了，瓦森纳协议中限制出口的列表，今年没有把248纳米krf列入其中。
不过需要说明的是，这款激光器是不可以用作军事用途的，所以，他们会派人监管，并定期检查的。”
自己的消息还是滞后了啊！
王岸然摇摇头，如果248纳米光刻机解除禁运的话，国外已经在193纳米光刻机的应用上有了长足的进步，甚至在深紫光上有了突破。
原因很简单，瓦森纳协议的核心就是N-2政策，西方审批出口的依据就是，对华出口的设备必须是落后两代。
而实际上，审批程序很复杂，等真拿到设备的时候，差不多已经是第三代的了，基本上比起国际主流的技术要落后10年左右。
这也没办法，王岸然喝了一口水，他想到一件事，忙问道：“张教授，这条芯片生产线，可以……”
张大京打断王岸然的话，说道：“岸然，这是我另外要说的一件事，248纳米激光光源光刻机，可以经过改造，用于1微米制程的芯片生产，不过，涉及一系列复杂的光学曝光技术，这些专利是要折算成资金入股的！”
这个王岸然没有意见，如果能改造成沉浸式光刻机，320纳米制程都没问题。
张大京拿出一份文件递给王岸然。
“股权结构？”
张大京点点头。
王岸然翻开一看，愣住了。
7亿美金只占了35%的股份，张大京团队以技术入股，占15%的股份，张大京自领5%的干股，后面跟着一大串投资人。
王岸然还看到了老伙计高盛，还有新加坡投资集团，湾岛国际等，这么多家，一共才出资3亿美元，加部分专利授权，占股45%。
“岸然，你是知道的，拉高盛进来，也是为我们的设备审批能够快一点，毕竟高盛在公关上还是有一套的。”
王岸然倒不是为高盛入伙头疼，他是为华芯科技出了资金的大头，占的股份确只有三分之一多一点。
唯一让王岸然有些安慰的，就是自己仍然是这家公司最大的股东。
因为前面已经承诺，自己的股份，投票权已经交给张大京，而张大京的团队加上张大京自己的有20%的股份。
加在一起就是55%的股份，完全可以让张大京在新公司说话能算数。
可华芯科技也太亏了吧！
“可谁让自己没有技术呢！活该被宰。”
王岸然摇摇头，这个时候想跟人家玩，不出点见面礼肯定是不行的。
“岸然，还有一点我需要明确一下，一是员工股票池，这是需要各股东按比例出的，现在暂定的是3%
另外就是，这家公司最终是要上市！”
王岸然点点头，张大京拉了这么多的资本进来，而资本是追求利润的，不上市，怎么把股份套现……
“张教授，关于专利入股的事，我需要我的团队评估一下各个专利的价值，其他的，我这边没有问题。对了，张教授，厂房定了没有？”
“还没有，我们的人正在和港府协调，目前来看，还没有找到合适的地皮。”
王岸然也没说话，留着张大京去公关吧！
等他碰壁了之后，他会知道，在大陆建厂也是一个不错的选择。
…………
就在王岸然和张大京纠缠不清的时候，官方内部围绕着“是不是由华芯科技来主导光刻机的开发。”展开了激烈的讨论。
为此官方特别邀请了一众科学家院士和高科技国企老总参与座谈。
刘承志也是在这里才知道，华芯科技竟然将触角伸到光刻机领域，还打报告给发改委高科技司，这要让你做成了，以后国内的IT/IC行业，还有幻想科技的一席之地？
“我反对让华芯科技主导光刻机研发，刚才的报告我也看了，华芯科技要求国家，在技术上对项目进行支持。
这是用国家的资源为他私人企业来谋利……”
倪广南憋了一肚子的火，在这个场合下，他也不好拍桌子，耐着性子等到刘承志说完，才说道：“我是赞成的，至于为什么，我想大家都知道，研发光刻机的难度。
即便是举国之力，也不一定研发出世界一流的光刻机，这明显是烧钱的项目，只有蠢货，才会想着从这里占国家的便宜！”
刘承志老脸一红，投向倪广南的目光有些怨恨。
“老不死的，你就是想着跟劳资作对是吧……”
接下来的发言大概支持和反对参半，或者反对多一些，毕竟很多人对华芯科技并不放心。
轮到苏老时，他重重的将拐棍在地板上敲了两下。
在这里，也就苏老有这个谱，老魔童的威风可不是盖的。
“我也听出来了，大家刚才反对的理由无非是两个，一个是害怕华芯科技占国家的便宜，而另外一个理由就是怕华芯科技干不好，怕他们承担不起这个责任。”
“我先说说第一个理由吧，刘总，你也是科院出来的，你没看到华芯科技在学术研究上，投入了多少个课题，有几个课题是能够盈利的。
在坐的或多或少都有参与吧，我记得有几个数学、物理上的基础课题研究，华芯科技是无偿支援的，我倒想问问刘总，你们幻想科技资助了几个课题，又在这方面投入了多少资金……”
刘承志傻眼了，怎么苏老一上来，就把炮口对准他。
“苏老，这不是一回事，而且幻想科技也给科院上缴了不少利润嘛，这也是支持科研啊！”
“屁，那是应该的，科院是你们的大股东，你还想着不上缴利润？”
刘承志被噎的一句话说不出，心里只盼着苏老，您早点说完，早点结束，在这里，简直活受罪。
苏老怼了刘承志一顿，然后转头看向大家，继续说道：“罢了，我再说一件事，你们听了就知道，华芯科技会不会借这个项目敛财了。”
“苏老您说！”
苏青森站了起来，长呼一口气，说道：“华芯科技把国家退税的近八个亿拿了出来，再加上价值五十个亿的华芯科技股份，用这笔钱成立了一个科技奖的基金，在做的各位，都有可能成为这笔基金的收益人……”
“呼！”
“五十八亿！”
“这是要干什么……”
苏老瞄了一下全场，又继续说道：“我可以负责任的担保，华芯科技绝对不会从这个项目来敛财。”
燕京光学器材公司总经理卜向东摇摇头，在他看来，让自己这么一个大国企跟在一家私企后面混，面子上过不去。
见苏老说完，忙跟着发言道：“可是苏老，这也不能说明，华芯科技有这个能力，来担负这么大的一个项目啊！”
“没有这个能力？”苏青森摇摇头。
“我不知道什么叫有能力，华芯科技开发的EDA软件，应该有不少人在用吧。
他们开发的操作系统肯定也有人见过。
小型机服务器，还有那处于世界顶尖水平的显卡，你们也应该用过。
更不用说就快要发布的CPU……”
台下窃窃细语。
“没想到华芯科技开发出这么多重量级的产品，几乎没一项都填补了国内的空白，还有CPU，他们开发了CPU了吗？性能怎样？”
“我只知道他们想开发CPU来着，难道他们的CPU出成品了？”
在场的有一大半并不知道这个事。
苏青森看向刘承志，说道：“小刘，你说说吧，华芯科技的CPU，你最清楚了。”
所有人的目光投向刘承志，只见他站了起来，极不情愿的对众人说道：“华芯科技确实生产出了CPU，而且性能，已经达到世界先进水平……”
“吁！”
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王岸然一下来了兴致。
“有什么不一样？”
“有三台使用的是高压汞灯i线365纳米光源，而另外四台……”
“张教授，你倒是说啊！”
张大京嘴角带着笑，指着王岸然说道：“岸然，我一直以为你比别的年轻人沉得住气，现在看来，只是没找到你感兴趣的东西啊！”
王岸然白了张大京一眼，说道：“张教授，你再不说，我可要翻脸了啊！”
“好！好！”张大京摇摇头，说道：“岸然，有四台使用的是Krf248纳米准分子激光光源。”
额，王岸然感觉呼吸都有些急促，krf准分子激光光源有两种波长，一种是248纳米，另外一种就是193纳米。
这跟高压汞灯光源不一样的是，高压汞灯光源还属于可见光，而krf准分子激光已经迈入紫外线的范畴。
虽然国内早已经开始了krf准分子激光的研究，而且取得了相应的成果，不过适用于光刻的248纳米光源，要求的是百焦级别的高功率，以及粒子均匀性要在千分之零点三的范围内。
门槛就在这里。
事实上，IBM早在1980年就将krf准分子激光光源用于半导体光刻，而十五年过后，对国内来说，还是一道深不可测的技术门槛。
没想到，这玩意竟然被张大京搞来了……
王黯然忙问道：“张教授，我记得激光光源是瓦森纳协议中禁止贸易的，你怎么……？”
“岸然，你错了，瓦森纳协议中限制出口的列表，今年没有把248纳米krf列入其中。
不过需要说明的是，这款激光器是不可以用作军事用途的，所以，他们会派人监管，并定期检查的。”
自己的消息还是滞后了啊！
王岸然摇摇头，如果248纳米光刻机解除禁运的话，国外已经在193纳米光刻机的应用上有了长足的进步，甚至在深紫光上有了突破。
原因很简单，瓦森纳协议的核心就是N-2政策，西方审批出口的依据就是，对华出口的设备必须是落后两代。
而实际上，审批程序很复杂，等真拿到设备的时候，差不多已经是第三代的了，基本上比起国际主流的技术要落后10年左右。
这也没办法，王岸然喝了一口水，他想到一件事，忙问道：“张教授，这条芯片生产线，可以……”
张大京打断王岸然的话，说道：“岸然，这是我另外要说的一件事，248纳米激光光源光刻机，可以经过改造，用于1微米制程的芯片生产，不过，涉及一系列复杂的光学曝光技术，这些专利是要折算成资金入股的！”
这个王岸然没有意见，如果能改造成沉浸式光刻机，320纳米制程都没问题。
张大京拿出一份文件递给王岸然。
“股权结构？”
张大京点点头。
王岸然翻开一看，愣住了。
7亿美金只占了35%的股份，张大京团队以技术入股，占15%的股份，张大京自领5%的干股，后面跟着一大串投资人。
王岸然还看到了老伙计高盛，还有新加坡投资集团，湾岛国际等，这么多家，一共才出资3亿美元，加部分专利授权，占股45%。
“岸然，你是知道的，拉高盛进来，也是为我们的设备审批能够快一点，毕竟高盛在公关上还是有一套的。”
王岸然倒不是为高盛入伙头疼，他是为华芯科技出了资金的大头，占的股份确只有三分之一多一点。
唯一让王岸然有些安慰的，就是自己仍然是这家公司最大的股东。
因为前面已经承诺，自己的股份，投票权已经交给张大京，而张大京的团队加上张大京自己的有20%的股份。
加在一起就是55%的股份，完全可以让张大京在新公司说话能算数。
可华芯科技也太亏了吧！
“可谁让自己没有技术呢！活该被宰。”
王岸然摇摇头，这个时候想跟人家玩，不出点见面礼肯定是不行的。
“岸然，还有一点我需要明确一下，一是员工股票池，这是需要各股东按比例出的，现在暂定的是3%
另外就是，这家公司最终是要上市！”
王岸然点点头，张大京拉了这么多的资本进来，而资本是追求利润的，不上市，怎么把股份套现……
“张教授，关于专利入股的事，我需要我的团队评估一下各个专利的价值，其他的，我这边没有问题。对了，张教授，厂房定了没有？”
“还没有，我们的人正在和港府协调，目前来看，还没有找到合适的地皮。”
王岸然也没说话，留着张大京去公关吧！
等他碰壁了之后，他会知道，在大陆建厂也是一个不错的选择。
…………
就在王岸然和张大京纠缠不清的时候，官方内部围绕着“是不是由华芯科技来主导光刻机的开发。”展开了激烈的讨论。
为此官方特别邀请了一众科学家院士和高科技国企老总参与座谈。
刘承志也是在这里才知道，华芯科技竟然将触角伸到光刻机领域，还打报告给发改委高科技司，这要让你做成了，以后国内的IT/IC行业，还有幻想科技的一席之地？
“我反对让华芯科技主导光刻机研发，刚才的报告我也看了，华芯科技要求国家，在技术上对项目进行支持。
这是用国家的资源为他私人企业来谋利……”
倪广南憋了一肚子的火，在这个场合下，他也不好拍桌子，耐着性子等到刘承志说完，才说道：“我是赞成的，至于为什么，我想大家都知道，研发光刻机的难度。
即便是举国之力，也不一定研发出世界一流的光刻机，这明显是烧钱的项目，只有蠢货，才会想着从这里占国家的便宜！”
刘承志老脸一红，投向倪广南的目光有些怨恨。
“老不死的，你就是想着跟劳资作对是吧……”
接下来的发言大概支持和反对参半，或者反对多一些，毕竟很多人对华芯科技并不放心。
轮到苏老时，他重重的将拐棍在地板上敲了两下。
在这里，也就苏老有这个谱，老魔童的威风可不是盖的。
“我也听出来了，大家刚才反对的理由无非是两个，一个是害怕华芯科技占国家的便宜，而另外一个理由就是怕华芯科技干不好，怕他们承担不起这个责任。”
“我先说说第一个理由吧，刘总，你也是科院出来的，你没看到华芯科技在学术研究上，投入了多少个课题，有几个课题是能够盈利的。
在坐的或多或少都有参与吧，我记得有几个数学、物理上的基础课题研究，华芯科技是无偿支援的，我倒想问问刘总，你们幻想科技资助了几个课题，又在这方面投入了多少资金……”
刘承志傻眼了，怎么苏老一上来，就把炮口对准他。
“苏老，这不是一回事，而且幻想科技也给科院上缴了不少利润嘛，这也是支持科研啊！”
“屁，那是应该的，科院是你们的大股东，你还想着不上缴利润？”
刘承志被噎的一句话说不出，心里只盼着苏老，您早点说完，早点结束，在这里，简直活受罪。
苏老怼了刘承志一顿，然后转头看向大家，继续说道：“罢了，我再说一件事，你们听了就知道，华芯科技会不会借这个项目敛财了。”
“苏老您说！”
苏青森站了起来，长呼一口气，说道：“华芯科技把国家退税的近八个亿拿了出来，再加上价值五十个亿的华芯科技股份，用这笔钱成立了一个科技奖的基金，在做的各位，都有可能成为这笔基金的收益人……”
“呼！”
“五十八亿！”
“这是要干什么……”
苏老瞄了一下全场，又继续说道：“我可以负责任的担保，华芯科技绝对不会从这个项目来敛财。”
燕京光学器材公司总经理卜向东摇摇头，在他看来，让自己这么一个大国企跟在一家私企后面混，面子上过不去。
见苏老说完，忙跟着发言道：“可是苏老，这也不能说明，华芯科技有这个能力，来担负这么大的一个项目啊！”
“没有这个能力？”苏青森摇摇头。
“我不知道什么叫有能力，华芯科技开发的EDA软件，应该有不少人在用吧。
他们开发的操作系统肯定也有人见过。
小型机服务器，还有那处于世界顶尖水平的显卡，你们也应该用过。
更不用说就快要发布的CPU……”
台下窃窃细语。
“没想到华芯科技开发出这么多重量级的产品，几乎没一项都填补了国内的空白，还有CPU，他们开发了CPU了吗？性能怎样？”
“我只知道他们想开发CPU来着，难道他们的CPU出成品了？”
在场的有一大半并不知道这个事。
苏青森看向刘承志，说道：“小刘，你说说吧，华芯科技的CPU，你最清楚了。”
所有人的目光投向刘承志，只见他站了起来，极不情愿的对众人说道：“华芯科技确实生产出了CPU，而且性能，已经达到世界先进水平……”
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